Lexikon: "Weißlichtinterferometrie"
Erschienen in der Zeitschrift inVision 6(November)2023, S.63
"WLI – auch Kohärenzradar genannt – ist ein hochauflösendes 2D-kamerabasiertes Messverfahren für 3D-Profile und -Strukturen. Auf Flächen im Zentimeter- bis Mikrometerbereich können mit Submikrometerauflösung große Höhenausdehnungen gemessen werden."
Lexikalischer Artikel von Ingmar Jahr, Manager Schulung & Support, evotron GmbH & Co. KG
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